发明名称 Ⅲ族元素氮化物单结晶之制造方法及其所使用之装置
摘要
申请公布号 TWI350862 申请公布日期 2011.10.21
申请号 TW093106904 申请日期 2004.03.16
申请人 國立大學法人大阪大學 日本 发明人 佐佐木孝友 日本;森勇介 日本;吉村政志 日本;川村史朗 日本;梅田英和 日本
分类号 C30B29/38 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种III族元素氮化物单结晶之制造方法,系将择自硷金属与硷土金属所构成群中之至少1种金属元素、与择自镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)所构成群中之至少1种III族元素放入反应容器并加热,以形成该金属元素之熔剂,再将含氮气体导入该反应容器内,于该熔剂中使III族元素与氮反应,而成长出III族元素氮化物单结晶;且一边使该反应容器摇动以搅拌混合该熔剂与该III族元素,一边进行该单结晶之成长。
地址 日本