标记晶圆之方法、标记劣品晶粒之方法、晶圆对位之方法、以及晶圆测试机

主权项

一种标记晶圆之方法，包括：提供一具有至少两个参考标记之晶圆，该晶圆之一表面包含有复数个晶粒，该参考标记位于该表面上；同时检测该晶圆之该些参考标记，以执行一对该晶圆对位之步骤；以及利用一雷射光对该晶圆作标记，当进行上述利用该雷射光对该晶圆作标记之步骤时系藉由改变该雷射光的路径，该晶圆的水平位置系固定不动。