成膜装置的时效处理方法

主权项

一种成膜装置的时效处理方法，属于在收容于处理容器内的基板成膜氮化矽膜的成膜装置的时效处理方法，其特征为：于上述处理容器内供给洗净气体，将该洗净气体作成电浆状态，蚀刻附着于上述处理容器内壁的上述氮化矽膜，于上述处理容器内供给矽系气体，将该矽系气体作成电浆状态，于上述处理容器内壁堆积非晶矽膜，于上述处理容器内供给矽系气体，同时一边供给氮系气体一直渐增至所定流量，一边将该矽系气体及该氮系气体作成电浆状态，于上述非晶矽膜上堆积朝厚度方向渐增氮含有量的氮化矽膜，一直到氮化矽膜对基板开始成膜为止，于上述处理容器内供给惰性气体，以维持该惰性气体的电浆状态。