显影设备及其承载机台

主权项

一种显影设备，包括：一承载机台，包括：一杯体，具有一杯口；一承载转盘，配置于该杯体内，适于承载一基板，且该承载转盘适于以一轴向为轴心旋转；一防溅环，配置于该杯体之杯口，且该防溅环具有一表面以及一排液孔，其中该表面具有一引流槽，该排液孔位于该引流槽内，而该引流槽具有一底面，朝该排液孔向下倾斜；以及至少一喷液装置，适于移动至该承载机台上方，且该喷液装置包括至少一喷嘴，而该喷嘴适于伸入该杯体内以喷出一液体至该基板上。