| 摘要 |
<p>기상 증착 반응기는, 제1 물질을 기판에 주입하는 제1 주입부; 및 상기 제1 주입부 내에 위치하며 제2 물질을 기판에 주입하는 하나 이상의 제2 주입부를 포함하는 반응 모듈을 포함할 수 있다. 상기 반응 모듈은 기판과의 상대적인 이동으로 기판이 상기 반응 모듈을 통과하는 구조를 가질 수 있다. 상기 기상 증착 반응기는 반응 모듈을 통과하는 기판을 챔버 내의 분위기에 노출하지 않고 기판에 복수 개의 물질을 주입할 수 있는 이점이 있다.</p> |
