| 发明名称 |
METHOD OF CHECKING AND SETTING INSPECTION APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20110115083(A) |
申请公布日期 |
2011.10.20 |
| 申请号 |
KR20110032487 |
申请日期 |
2011.04.08 |
| 申请人 |
KOH YOUNG TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
YOU, HEE WOOK |
| 分类号 |
G01B11/30;G01M11/00;G01N21/88;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
