Verfahren zur Innenbeschichtung von Funktionsschichten mit einem Vergütungsmaterial

摘要

Im Rahmen der Erfindung wurde ein Verfahren zur Innenbeschichtung der Poren einer porösen Funktionsschicht aus einem Basismaterial mit einem Vergütungsmaterial, das die Diffusion des Basismaterials und/oder die Reaktivität des Basismaterials mit seiner Umgebung herabsetzt, entwickelt. Erfindungsgemäß wird das Vergütungsmaterial aus der Gasphase auf den inneren Oberflächen der Poren abgeschieden. Es wurde erkannt, dass durch das Abscheiden aus der Gasphase das Vergütungsmaterial deutlich tiefer in das Porensystem der Funktionsschicht eingebracht werden kann, als dies nach dem bisherigen Stand der Technik möglich war. Dies gilt insbesondere, wenn nicht das Vergütungsmaterial selbst in das Porensystem eingebracht wird, sondern ein oder zwei Precursoren desselben, aus denen erst an den inneren Oberflächen der Poren das eigentliche Vergütungsmaterial entsteht.