| 摘要 |
1. Устройство для возбуждения технологической среды посредством электромагнитного излучения, содержащее: !реакционную конструкцию, содержащую технологический или реакционный объем; ! множество сверхвысокочастотных электромагнитных генераторов, связанных с реакционной конструкцией, вокруг реакционной конструкции; и, ! по меньшей мере, один радиочастотный (РЧ) электромагнитный генератор, связанный с реакционной конструкцией. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся, по меньшей мере, одним из следующих признаков: !(а) дополнительно содержащее, по меньшей мере, один генератор статического электромагнитного поля, связанный с реакционной конструкцией, и при этом, по меньшей мере, один генератор статического электромагнитного поля предпочтительно создает постоянное поле для удержания плазмы; ! (b) в котором реакционная конструкция является одномодовой или многомодовой при сверхвысокой частоте; и ! (с) в котором реакционная конструкция является цилиндрически симметричной относительно оси. ! 3. Устройство по п.1, в котором реакционная конструкция ограничена спиральной конструкцией, образованной из проводящего материала и имеющей множество катушек. ! 4. Устройство по п.3, отличающееся одним из следующих отличительных признаков: ! (а) в котором ширина витков спирали составляет одну четвертую часть длины волны при резонансной частоте; ! (b) в котором спираль соединена с одним или несколькими из указанных радиочастотных генераторов; ! (с) в котором витки образуют часть резонансного контура; и ! (d) в котором спираль имеет концевую заглушку на каждом конце, при этом концевые заглушки содержат спиральные обмотки для предотвращ� |
