包括纳米管探针的探针卡和构造方法

摘要

公开了在衬底上构造多个碳纳米管束探针的方法。在某些实施方案中，所述方法包括如下步骤：提供具有顶表面和底表面的衬底；在所述顶表面上形成导电焊盘阵列，所述导电焊盘阵列被形成为与待测试的集成电路上的焊盘阵列成镜像；在所述导电焊盘阵列中的每个导电焊盘上施用促进碳纳米管生长的催化剂；在富含碳的环境中加热所述衬底，由此使纳米管生长，所述纳米管从所述导电焊盘阵列中的每个导电焊盘向上延伸并在所述衬底的顶表面上方，从而形成从所述衬底的顶表面上方向上延伸的多个碳纳米管束探针；以及，利用导电材料覆盖多个碳纳米管束探针中的每个。

主权项

一种在衬底上构造多个碳纳米管束探针的方法，所述方法包括：提供具有顶表面和底表面的衬底；在所述顶表面上形成导电焊盘阵列；在所述导电焊盘阵列中的每个导电焊盘上施用促进碳纳米管生长的催化剂；以及在富含碳的环境中加热所述衬底，由此使从所述导电焊盘阵列中的每个导电焊盘向上延伸的纳米管生长。