Adjusting apparatus and method for tip end of slit nozzle

摘要

소정 폭의 도포액 토출구가 개구된 슬릿 노즐 앞쪽 끝의 조정장치는 슬릿 노즐을 세정하는 침지식 세정부, 세정 후의 노즐을 건조시키는 건조부, 슬릿 노즐의 토출구를 조정하는 프리디스펜스부로 구성되고, 또한 동일 장치에 설치한다. 침지식 세정부는 슬릿 노즐을 일정시간 이상 사용하지 않을 때는, 슬릿 노즐 앞쪽 끝을 침지하여 유지하는 건조 방지부를 겸한다.