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发明名称 NITROGEN-PLASMA SURFACE TREATMENT IN A DIRECT BONDING METHOD
摘要
申请公布号 EP2304787(B1) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 EP20090765984 申请日期 2009.04.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 MORICEAU, HUBERT;MORALES, CHRISTOPHE;RIEUTORD, FRANCOIS;VENTOSA, CAROLINE;CHEVOLLEAU, THIERRY
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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