| 发明名称 | 一种化学机械研磨设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种化学机械研磨设备，包括：研磨头，所述研磨头内部具有气体加压室；气体连通管，与所述气体加压室连通；气压控制阀，设置于所述气体连通管上；过滤装置，固定设置于所述气体连通管上，位于所述气体加压室与所述气压控制阀之间。本发明所述化学机械研磨设备在与研磨头气体加压室相连通的气体连通管上设置过滤装置，所述过滤装置填充在所述气体连通管上，保障气体连通管气体连通的同时，有效阻止晶圆碎片及其他杂质进入气压控制阀造成损伤，从而大大降低成本并提高工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102218700A | 申请公布日期 | 2011.10.19 |
| 申请号 | CN201110103495.7 | 申请日期 | 2011.04.25 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 高喜峰 |
| 分类号 | B24B37/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括：研磨头，所述研磨头内部具有气体加压室；气体连通管，与所述气体加压室连通；气压控制阀，设置于所述气体连通管上；过滤装置，固定设置于所述气体连通管上，位于所述气体加压室与所述气压控制阀之间。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 | ||