发明名称 POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 EP1851002(B1) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 EP20050776860 申请日期 2005.08.30
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 FUKUDA, AKIRA;MOCHIZUKI, YOSHIHIRO;HIROKAWA, KAZUTO
分类号 B24B37/04;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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