图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头

摘要

本发明的目的在于提供一种图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头。该简洁地对准多个摄像单元的焦点的图案检查装置将多个摄像单元(5a)、(5b)、(5c)固定在相对于被检查物(2)的表面可在接近离开方向(Z)移动的1个台座(4)，将摄像单元(5b)、(5c)的光学透镜系统单元(8b)、(8c)在接近离开方向(Z)驱动并进行焦距对准，对形成于被检查物(2)上的图案(3)进行检查。

主权项

一种图案检查装置，包括：摄像头，该摄像头对周期性并排设置在被检查物的表面的图案进行扫描，并且装载有摄像元件和光学透镜系统单元；以及控制装置，该控制装置与离开一定周期的部分进行比较，检测所述图案的缺陷，其特征在于，所述摄像头具有驱动部，该驱动部使固定有多个摄像单元的台座相对于所述被检查物的表面在接近离开方向可动，所述摄像单元包括：具有摄像元件的摄像元件单元；以及在所述接近离开方向可动的光学透镜系统单元，所述控制装置使所述光学透镜系统单元移动并使所述各摄像单元的焦点对准所述被检查物的表面，使得所述光学透镜系统单元的倍率M在以下范围，从而检测所述图案的缺陷：C(N‑ΔN)/P＜M＜C(N+ΔN)/P其中，C是所述摄像元件的元件间距，P是所述图案的间距，N是所述图案的投影图像间距内的所述摄像元件的元件数，ΔN是所述投影图像的容许元件。