METHOD OF BONDING MOLECULE AND MOLECULE BONDING APPARATUS,申请号EP20040729214-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF BONDING MOLECULE AND MOLECULE BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号	EP1621517(A4)	申请公布日期	2011.10.19
申请号	EP20040729214	申请日期	2004.04.23
申请人	NATIONAL INSTITUTE OF INFORMATION AND COMMUNICATIONS TECHNOLOGY	发明人	OTOMO, AKIRA;FURUMI, SEIICHI;SUZUKI, HITOSHI;MIKI, HIDEKI;MASHIKO, SHINRO
分类号	B82B3/00;G03F7/004;G03F7/16;H01L21/027;H01L29/06;H01L51/00	主分类号	B82B3/00
代理机构		代理人
主权项
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