发明名称 SISTEMA DE IMANES PARA UN CATODO PULVERIZADOR.
摘要 Sistema (7) de imanes para un cátodo (1) pulverizador, con una placa (50) de culata y con al menos un primero (70) y un segundo grupo (71) de imanes, que están dispuestos sobre la placa (50) de culata con polaridad opuesta, formando los imanes del primer grupo (70) una fila de imanes, en lo esencial cerrada, situada interiormente, y formando los imanes del segundo grupo (71), una fila de imanes, en lo esencial cerrada, situada exteriormente, y que rodea radialmente la fila de imanes situada interiormente, formando la fila de imanes situada interiormente, un primer arco (75) de círculo que abarca un ángulo de más de 180º de un primer círculo (A), y formando la fila de imanes situada exteriormente, un tercer arco (78) de círculo que abarca un ángulo de más de 180º de un tercer círculo (E), y rodeando el tercer círculo (E) el primer círculo (A), caracterizado porque la fila de imanes situada interiormente forma un segundo arco (76) de círculo de un segundo círculo (C), estando situado el segundo arco (76) de círculo dentro del primer círculo (A), y porque la fila de imanes situada exteriormente forma un cuarto arco (80) de círculo de un cuarto círculo (F), estando situado el cuarto arco (80) de círculo dentro del tercer círculo (E).
申请公布号 ES2366377(T3) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 ES20060724437T 申请日期 2006.04.20
申请人 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 发明人 WEINDEL, CHRISTIAN;LUKHAUB, WALDEMAR;PACEARESCU, LARISA;RUDAKOWSKI, SIEGMAR
分类号 H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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