用于形成电化学电池或电容器的立体纳米结构电极的设备及方法

摘要

本文所述实施例大体上是关于电化学电池或电容器的电极结构，特别是有关制造可靠又具成本效益的电化学电池或电容器的立体(3D)电极纳米结构的设备和方法，其中该立体(3D)电极纳米结构具备延长的使用寿命、较低的生产成本和改善的工艺性能。

主权项

一种用于在大面积基板上电镀金属的设备，该设备包含：腔室主体，其界定处理体积，其中该处理体积经配置以在其中容纳电镀浴且该腔室主体具有上开口；多个喷射喷雾器，其经配置以分配电镀液而在该处理体积内形成该电镀浴，其中该多个喷射喷雾器开通至该腔室主体的侧壁；排放系统，其经配置以从该处理体积排出该电镀浴；阳极组件，其经设置于该处理体积中，其中该阳极组件包含阳极，该阳极以实质垂直位置显露于该电镀浴；以及阴极组件，其经设置于该处理体积中，且该阴极组件包含：基板处置器，其经配置以实质平行该处理体积中的该阳极来定位一或多个大面积基板；以及接触机构，其经配置以将电偏压耦接至该一或多个大面积基板。