| 摘要 |
<p>본 발명의 프로브 유닛은, 검사대 위의 피검사체의 검사를 위해 그 피검사체의 전극에 접촉가능한 프로브가 설치된 적어도 하나의 프로브 조립체와, 고정판에 지지되는 서포트 베이스부재(support base member)와, 프로브를 전극에 접촉시키도록 검사대 위쪽에서 프로브 조립체를 서포트 베이스부재에 지지하는 현가(懸架, suspension)기구와, 현가기구 아래쪽에서 그 현가기구에 지지되며, 프로브에 전기적으로 접속되는 신호 회로기판을 포함한다. 또한, 현가기구를 서포트 베이스부재에 횡축을 중심으로 회전가능하게 지지하는 피벗(pivot, 樞軸)기구와, 서포트 베이스부재에 관한 현가기구의 회전의 구속을 해제가능하게 하도록 현가기구를 서포트 베이스부재에 해제가능하게 고정하는 결합수단을 포함한다.</p> |
