| 发明名称 | 耐气蚀部件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及耐气蚀部件及其制造方法。该耐气蚀部件(1)的基材表面上形成有无定形碳膜涂层并且至少具有：位于该基材(2)的表面上并包括多个柱状结构(4a)的第一无定形碳膜涂层(4)；和无取向地沉积在该第一无定形碳膜涂层(4)的表面上并包括多个粒状结构(5a)的第二无定形碳膜涂层(5)。 | ||
| 申请公布号 | CN101321892B | 申请公布日期 | 2011.10.19 |
| 申请号 | CN200780000455.1 | 申请日期 | 2007.01.26 |
| 申请人 | 丰田自动车株式会社 | 发明人 | 佐藤贵康;金泽孝明;七原正辉 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 马江立;柴智敏 |
| 主权项 | 一种耐气蚀部件，其中，所述部件与流体接触，并且无定形碳膜涂层形成在基材(2)的表面上，所述耐气蚀部件包括：位于所述基材(2)的表面上并包括多个柱状结构(4a)的第一无定形碳膜涂层(4)；和无取向地沉积在所述第一无定形碳膜涂层(4)的表面上并包括多个粒状结构(5a)的第二无定形碳膜涂层(5)。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||