发明名称 |
一种利用温度梯度控制氧化镁烧结体靶材物理尺寸的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种利用温度梯度控制氧化镁烧结体靶材物理尺寸的方法,该方法包含以下四个升温过程和四个恒温阶梯:(1)将氧化镁粉体坯料从室温开始升温,升温速率为2至7℃/min,升温至300℃至600℃,恒温20至100min;(2)升温速率为4至10℃/min,升温至900℃至1200℃,恒温30至120min;(3)升温速率为3至7℃/min,升温至1450℃至1550℃,恒温30至90min;(4)升温速率为0.5至2℃/min,升温至1700℃至1800℃,恒温300至500min。 |
申请公布号 |
CN102219480A |
申请公布日期 |
2011.10.19 |
申请号 |
CN201110101443.6 |
申请日期 |
2011.04.22 |
申请人 |
辽宁中大超导材料有限公司 |
发明人 |
林宇;穆卓艺;王宁会;潘忠艺;张百平 |
分类号 |
C04B35/01(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/01(2006.01)I |
代理机构 |
大连星海专利事务所 21208 |
代理人 |
修德金 |
主权项 |
一种利用温度梯度控制氧化镁烧结体靶材物理尺寸的方法,该方法包含以下四个升温过程和四个恒温阶梯:(1)将氧化镁粉体坯料从室温开始升温,升温速率为2至7℃/min,升温至300℃至600℃,恒温20至100min;(2)升温速率为4至10℃/min,升温至900℃至1200℃,恒温30至120min;(3)升温速率为3至7℃/min,升温至1450℃至1550℃,恒温30至90min;(4)升温速率为0.5至2℃/min,升温至1700℃至1800℃,恒温300至500min。 |
地址 |
115000 辽宁省营口市沿海产业基地新联大街东一号 |