三轴集成硅微谐振式加速度计

摘要

本实用新型公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上，玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本实用新型结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。

主权项

一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座（300）；所述微加速度计结构键合在玻璃基座（300）上,玻璃基座（300）上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，其特征在于：所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计（100）和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计（200）；所述全解耦双轴硅微谐振式加速度计（100）由四个完全相同的线性谐振器子结构（101a、101b、101c、101d）和第一质量块（102）组成，四个线性谐振器子结构（101a、101b、101c、101d）上下左右对称设置；第一质量块（102）分别通过第一组解耦梁（106a1、106a2、106b1、106b2、106c1、106c2、106d1、106d2）与四个线性谐振器子结构（101a、101b、101c、101d）连接，四个线性谐振器子结构的横梁（103a、103b、103c、103d）通过第二组解耦梁（105a1、105a2、105b1、105b2、105c1、105c2、105d1、105d2）与固定基座（104a1、104a2、104b1、104b2、104c1、104c2、104d1、104d2）连接。