| 主权项 |
1.一种快速提取版图关键面积的方法，包括：(1)提取版图数据特征，对基本图形单元按照polygon类和instance类进行分类，其中polygon为多边形，instance为多边形的聚合体；(2)若基本图形单元为polygon类：A、提取polygon类每个基本图形单元的位置和尺寸信息，并将polygon类基本图形单元划分成独立的层区，对于每个层区，建立层区索引表；B、依次对polygon类划分的每个层区利用分散度模型确定最佳分块方向，利用均衡模型寻找最适宜分块边界并划分块区，建立多边形区块索引表；所述的分散度模型为：<img file="FSB00000571980200011.GIF" wi="564" he="132" />其中，f(x)为分散度因数，x为分块方向，即水平方向或垂直方向，D<sub>x(i)</sub>表示第i个多边形位置到参考位置的间隔，参考位置通常取边界多边形，W<sub>x(i)</sub>表示第i个多边形在扫描方向上的尺寸，α<sub>i</sub>为D<sub>x(i)</sub>的权重因数，β<sub>i</sub>为W<sub>x(i)</sub>的权重因数，n为多边形的个数，取正整数；i∈n；所述的均衡模型为：<img file="FSB00000571980200012.GIF" wi="752" he="240" />其中，γ为均衡度，N为块区数，M为多边形总数，N、M取正整数，M<sub>i</sub>为第i个块区内的多边形数，M<sub>average</sub>为均匀分块所得块区内的多边形数，即M<sub>average</sub>＝M/N；(3)若基本图形单元为instance类：C、提取各instance的位置和尺寸信息，对各instance根据分散度模型确定分块方向，根据均衡模型寻找最适宜分块边界划分块区，并建立instance第一层块区索引表；D、对第一层各块区内的基本图形单元按照polygon类和instance类进行分类，对polygon类基本图形单元划分成独立的层区，建立各自的层区索引表，并对每个层区划分块区，建立各自的多边形区块索引表；对instance类递归处理，重复上述步骤，直到遍历所有层块区，完成instance类各层块区的多级索引表；(4)将得到的层区索引表、多边形区块索引表、第一层块区索引表、 多级索引表综合建立最终的类区索引表；(5)随机模拟生产工艺的缺陷分析统计影响，利用建立的类区索引表提取版图关键面积；所述的分析统计影响，利用建立的类区索引表提取版图关键面积的方法为：(1)、根据随机模拟生产工艺的缺陷图形的工艺属性锁定已建立的类区及层区；(2)、根据建立的类区索引搜索锁定块区内的所有与缺陷图形重叠的基本图形单元，判断是否失效；(3)、递归提取基本图形单元，获得与缺陷图形重叠的所有版图基本图形单元并验证是否失效，计算得出版图关键面积。 |
