发明名称 |
发光二极管及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种发光二极管及其制造方法,所述发光二极管包括:衬底;形成于所述衬底上的缓冲层;形成于所述缓冲层上的第一导电半导体层、有源层以及第二导电半导体层,所述第一导电半导体层与所述第二导电半导体层具有相反掺杂类型;其中,所述衬底邻近所述缓冲层的一侧表面形成有多个凹槽,位于所述沟槽内的缓冲层中形成有空洞。由于所述空洞的存在,可提高器件的内量子效率和外量子效率,增加了发光二极管的发光强度。 |
申请公布号 |
CN102222745A |
申请公布日期 |
2011.10.19 |
申请号 |
CN201110172425.7 |
申请日期 |
2011.06.23 |
申请人 |
映瑞光电科技(上海)有限公司 |
发明人 |
张汝京;肖德元;程蒙召 |
分类号 |
H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/20(2010.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种发光二极管,其特征在于,包括:衬底;形成于所述衬底上的缓冲层;形成于所述缓冲层上的第一导电半导体层、有源层以及第二导电半导体层,所述第一导电半导体层与所述第二导电半导体层具有相反掺杂类型;其中,所述衬底邻近所述缓冲层的一侧表面形成有多个凹槽,位于所述沟槽内的缓冲层中形成有空洞。 |
地址 |
201306 上海市浦东新区上海市临港产业区新元南路600号行政办公中心二楼 |