发明名称 发光二极管及其制造方法
摘要 本发明公开了一种发光二极管及其制造方法,所述发光二极管包括:衬底;形成于所述衬底上的缓冲层;形成于所述缓冲层上的第一导电半导体层、有源层以及第二导电半导体层,所述第一导电半导体层与所述第二导电半导体层具有相反掺杂类型;其中,所述衬底邻近所述缓冲层的一侧表面形成有多个凹槽,位于所述沟槽内的缓冲层中形成有空洞。由于所述空洞的存在,可提高器件的内量子效率和外量子效率,增加了发光二极管的发光强度。
申请公布号 CN102222745A 申请公布日期 2011.10.19
申请号 CN201110172425.7 申请日期 2011.06.23
申请人 映瑞光电科技(上海)有限公司 发明人 张汝京;肖德元;程蒙召
分类号 H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/20(2010.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种发光二极管,其特征在于,包括:衬底;形成于所述衬底上的缓冲层;形成于所述缓冲层上的第一导电半导体层、有源层以及第二导电半导体层,所述第一导电半导体层与所述第二导电半导体层具有相反掺杂类型;其中,所述衬底邻近所述缓冲层的一侧表面形成有多个凹槽,位于所述沟槽内的缓冲层中形成有空洞。
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