接触式温度探测器和制造方法

摘要

本发明涉及接触式温度探测器和制造方法，更具体涉及一种供测量处在加工环境中的基质的温度用的接触式测量探测器，它包括一个探测头，该探测头具有一个用来接触基质的由陶瓷材料或高分子材料制成的接触面，这接触式测量探测器消除了在含有离子源的加工环境中产生的电偏压的影响，由此能提供具有较高精度和可重复的温度测量结果。

主权项

一种接触式温度测量探测器的探测头，它包括：导电垫片；和一块配置在所述导电垫片接触面上的高分子材料，其中所述高分子材料选自由聚酰亚胺类和聚醚醚酮类构成的组。