发明名称 | 紫外激光精密打标装置 | ||
摘要 | 本发明涉及紫外激光精密打标装置,紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜,扩束镜的输出端布置有扫描振镜,扫描振镜的输出端连接有聚焦镜,聚焦镜的下方布置有二维移动平台;紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜,扩束镜输出准直的光束,准直的光束经扫描振镜后进入聚焦镜,聚焦镜聚焦后的光束焦点位于二维移动平台的加工工件上。采用紫外调Q脉冲激光器,紫外激光因其固有特性,在与材料作用时,并不是通过热烧蚀去除物质,而是通过打断材料的化学键来使分子剥离,可极大地减小热影响区域;紫外激光加工又称为冷加工,可获得很好的边缘效果;解决了激光打标过程中的位置精度及效果问题,适用于半导体领域晶圆级打标应用。 | ||
申请公布号 | CN102218936A | 申请公布日期 | 2011.10.19 |
申请号 | CN201110128479.3 | 申请日期 | 2011.05.18 |
申请人 | 苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司 | 发明人 | 赵裕兴;汪昊 |
分类号 | B41J2/435(2006.01)I | 主分类号 | B41J2/435(2006.01)I |
代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人 | 王玉国;陈忠辉 |
主权项 | 紫外激光精密打标装置,包括激光器和扩束镜,其特征在于:所述激光器为紫外调Q固体激光器,紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜,所述扩束镜的输出端布置有扫描振镜,所述扫描振镜的输出端连接有聚焦镜,聚焦镜的下方布置有二维移动平台;所述紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜,扩束镜输出准直的光束,准直的光束经扫描振镜后进入聚焦镜,聚焦镜聚焦后的光束焦点位于二维移动平台的加工工件上。 | ||
地址 | 215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号 |