液体喷射头及其制造方法、以及液体喷射装置

摘要

本发明的目的在于提供一种液体喷射头及其制造方法、以及液体喷射装置，能够抑制液体对液体流路的壁面的侵蚀，并能够长期良好地维持液滴的喷射特性。振动板(50)的流路形成基板(10)侧的最表层由绝缘体膜(51)构成，绝缘体膜(51)由氧化锆形成，并且，由具有耐液体性的材料形成的保护膜(20)覆盖液体流路的壁面而设置在流路形成基板(10)的表面。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具备：流路形成基板，该流路形成基板形成有包含喷射液滴的喷嘴和与该喷嘴连通的压力产生室的液体流路；振动板，该振动板设置在该流路形成基板上，且构成所述压力产生室的一面；以及压电元件，该压电元件与各压力产生室对应地设置在该振动板上，所述振动板的所述流路形成基板侧的最表层由绝缘体膜构成，所述绝缘体膜由氧化锆形成，并且，由具有耐液体性的材料形成的保护膜，以覆盖所述液体流路的壁面的方式设置在所述流路形成基板的表面。