亚微米级定位精度并联调整平台及其调整方法

摘要

本发明公开了一种亚微米级定位精度并联调整平台及其调整方法，其并联调整平台包括定平台、六根可伸缩支杆、能在左右和前后方向上直线移动并能绕左右和前后方向转动的动平台、测量系统、与测量系统电连接的控制器以及与控制器相接的参数输入单元，可伸缩支杆上端部均通过球铰安装在动平台上且其下端部通过虎克铰安装在定平台上；其调整方法包括步骤：一、动平台当前位置与姿态信息测量；二、动平台理想位置与理想姿态信息输入；三、各可伸缩支杆伸缩量换算处理；四、驱动调整。本发明设计合理、安装方便、操作简便且实现方便、调整精度高、适用范围广，能有效适用至圆度仪等精密测量仪器上，满足对精密测量仪器上待测工件的位置和姿态调整需求。

主权项

一种亚微米级定位精度并联调整平台，其特征在于：包括固定不动且呈水平向布设的定平台(1)、安装在定平台(1)上的六根可伸缩支杆、初始状态下呈水平向布设且在六根所述可伸缩支杆的带动下能在左右和前后两个方向上进行直线移动并能绕左右和前后两个方向进行转动的动平台(3)、对动平台(3)当前状态下所处位置以及其在水平面上绕左右和前后两个方向的转动角度进行测量的测量系统(4)、与测量系统(4)电连接的控制器(5)以及与控制器(5)相接的参数输入单元(11)，六根所述可伸缩支杆的上端部均通过球铰安装在动平台(3)上，且六根所述可伸缩支杆的下端部均通过虎克铰安装在定平台(1)上；六根所述可伸缩支杆的结构相同，所述可伸缩支杆包括安装于定平台(1)上的套筒、同轴套装在所述套筒内且能沿所述套筒的中轴线进行上下移动的伸缩杆和对所述伸缩杆进行驱动的驱动电机，所述驱动电机通过传动机构与所述伸缩杆进行连接，六根所述可伸缩支杆中的驱动电机均由控制器(5)进行控制；所述定平台(1)、六根所述可伸缩支杆和动平台(3)组成具有两个直线自由度和两个旋转运动自由度的四自由度并联机构；六根所述可伸缩支杆的上端部在动平台(3)上的安装位置分别为安装点A1、A2、A3、A4、A5和A6，安装点A1、A2、A3、A4、A5和A6均沿逆时针方向布设在正六边形一上，所述正六边形一的六个顶点沿顺时针方向依次为顶点C1、C2、C3、C4、C5和C6且正六边形一的中心点为O1；六根所述可伸缩支杆的下端部在定平台(1)上的安装位置分别为安装点B1、B2、B3、B4、B5和B6，安装点B1、B2、B3、B4、B5和B6均沿逆时针方向布设在正六边形二上，所述正六边形二的六个顶点沿顺时针方向依次为顶点D1、D2、D3、D4、D5和D6且正六边形二的中心点为O2；所述正六边形二的边长大于所述正六边形一的边长，六根所述可伸缩支杆分别安装在安装点A1与B1之间、A2与B2之间、A3与B3之间、A4与B4之间、A5与B5之间以及A6与B6之间，安装点A2和A3对称布设在顶点C3两侧，安装点A4和A5对称布设在顶点C1两侧，安装点A6和A1对称布设在顶点C5两侧，安装点B1和B2对称布设在顶点D3两侧，安装点B3和B4对称布设在顶点D1两侧，安装点B5和B6对称布设在顶点D5两侧；且直线段A2O1和A3O1之间、A4O1和A5O1之间、A6O1和A1O1之间、B1O2和B2O2之间、B3O2和B4O2之间以及B5O2和B6O2之间的夹角均相同；所述动平台(3)处于初始状态时，正六边形一位于正六边形二的正上方，且直线段O1A1位于直线段O2B6的正上方。