| 发明名称 | 具有梳形电极的加速度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的地震振动质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)，其中，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于地震振动质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠。 | ||
| 申请公布号 | CN101563616B | 申请公布日期 | 2011.10.19 |
| 申请号 | CN200780047165.2 | 申请日期 | 2007.10.19 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | J·克拉森;M·海茨;F·本尼尼 |
| 分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 侯鸣慧 |
| 主权项 | 一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的惯性质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与惯性质量块(1)连接的电极(6)，其特征在于，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与惯性质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于惯性质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中，两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠，支撑梁(9，9’)在连接梁(3)两侧延伸，用于接收固定地与基底连接的梳形电极(11，11’)，其中，支撑梁(9，9’)同样在基底(5)的中心区域中被固定在基底(5)上。。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||