发明名称 |
一种肖特基芯片的生产工艺及生产工艺所用腐蚀液 |
摘要 |
本发明公开了一种肖特基芯片的生产工艺,包括以下步骤:提供一原始外延硅片;对原始外延硅片进行氧化,形成氧化层;一次光刻;P环扩散;二次光刻沟槽;一次腐蚀;三次光刻,去除沟间隔的氧化层;二次腐蚀;正面溅射金属Pt、Ni;蒸发正面接触金属Ti、Ni、Ag;光刻金属;背面减薄;蒸发背面接触金属Ti、Ni、Ag,得成品。本发明还公开了一种肖特基芯片的生产工艺所用的腐蚀液,其组份为:HF、HAC、H2O2、HNO3。采用本发明加工肖特基芯片,可实现深度为1.0微米、精度为±0.15微米的光滑沟槽,并使硅的表面积约扩大20%以上,所以同样的芯片面积,采用本发明工作效率提高接近20%,为肖特基芯片的批量生产打下了坚实基础。 |
申请公布号 |
CN102222615A |
申请公布日期 |
2011.10.19 |
申请号 |
CN201110189705.9 |
申请日期 |
2011.07.07 |
申请人 |
重庆平伟实业股份有限公司 |
发明人 |
王兴龙;邹红兵 |
分类号 |
H01L21/329(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/329(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种肖特基芯片的生产工艺,其特征在于:包括以下步骤:(1)提供一原始外延硅片;(2)对原始外延硅片进行氧化,形成氧化层;(3)一次光刻;(4)P环扩散;(5)二次光刻沟槽;(6)一次腐蚀;(7)三次光刻,去除沟间隔的氧化层;(8)二次腐蚀;(9)正面溅射金属Pt、Ni;(10)蒸发正面接触金属Ti、Ni、Ag;(11)光刻金属;(12)背面减薄;(13)蒸发背面接触金属Ti、Ni、Ag,得成品。 |
地址 |
405200 重庆市梁平县梁山镇皂角村双桂工业园区 |