| 发明名称 | 振动片、角速度传感器以及电子设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够检测绕多个检测轴旋转的角速度的振动片、角速度传感器以及电子设备。振动片(1)具有：基部(5)；从该基部的第1轴方向的两端部起沿第1轴方向延伸的第1驱动臂(2)和第2驱动臂(3)；从基部的侧面(203)起沿垂直于第1轴方向的第2轴方向延伸的检测臂(4)；从基部的侧面起以包围检测臂的方式延伸的支撑部(6)。支撑部具有从基部的侧面起沿第2轴方向延伸的第1连接梁(7)和第2连接梁(8)。在第1和第2驱动臂的第1表面(201)上形成有沿第1轴方向并列设置的第1和第2驱动电极(12A、12B)，在检测臂的第1表面上形成有沿第2轴方向并列设置的一对第1和第2检测电极(14A、14B)。 | ||
| 申请公布号 | CN102221360A | 申请公布日期 | 2011.10.19 |
| 申请号 | CN201110076397.9 | 申请日期 | 2011.03.28 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 志村匡史 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;G01P9/04(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;马建军 |
| 主权项 | 一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；第1驱动臂，其从所述基部的第1轴方向的一端起沿所述第1轴方向延伸；第2驱动臂，其从所述基部的所述第1轴方向的另一端起沿所述第1轴方向延伸；驱动电极，其分别设置于所述第1驱动臂和所述第2驱动臂；检测臂，其从所述基部起沿垂直于所述第1轴方向的第2轴方向延伸；检测电极，其设置于所述检测臂；以及支撑部，其从所述基部起延伸，所述支撑部被设置成包围所述检测臂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||