| 发明名称 | 钛络合物、其制备方法，含钛薄膜及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及新型钛络合物，其具有优良的气化特征和热稳定性并可以作为通过CVD、ALD或其类似法形成含钛薄膜中的原料；用于制备络合物的方法；使用络合物形成含钛薄膜；用于形成膜的方法。根据本发明，由通式(1)表示的钛络合物是通过将通式(2)表示的二亚胺与金属锂反应，然后与由通式(3)表示的四酰胺络合物反应并通过使用钛络合物作为原料形成含钛薄膜(其中R1和R4各自独立地是1-6个碳原子的烷基或类似物；R2和R3各自独立地为氢、1-3个碳原子的烷基或类似物而R5和R6各自独立地为1-4个碳原子的烷基或类似物)。Ti(NR5R6)4 (3) | ||
| 申请公布号 | CN101304964B | 申请公布日期 | 2011.10.19 |
| 申请号 | CN200680041647.2 | 申请日期 | 2006.11.01 |
| 申请人 | 东曹株式会社;财团法人相模中央化学研究所 | 发明人 | 多田贤一;稻叶孝一郎;古川泰志;千叶洋一;山川哲;大岛宪昭 |
| 分类号 | C07C211/65(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C07F7/28(2006.01)I | 主分类号 | C07C211/65(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张平元 |
| 主权项 | 1.通式(1)表示的钛络合物<img file="FSB00000500902800011.GIF" wi="1093" he="661" />其中，R<sup>1</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地表示具有1～6个碳原子的烷基，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>各自独立地表示氢原子或具有1～3个碳原子的烷基，R<sup>5</sup>和R<sup>6</sup>各自独立地表示具有1～4个碳原子的烷基。 | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||