| 摘要 |
<p>질화갈륨계 화합물을 이용한 발광소자의 박막 형성 공정에 있어서 공정시간을 단축할 수 있고 박막품질을 향상시킬 수 있는 금속유기물 화학기상증착방법이 필요하다. 이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 금속유기물 화학기상증착방법은, 버퍼챔버에 반입된 기판을 제1반응챔버에 반입하여 제1공정을 수행하는 단계와, 제1공정이 완료된 기판을 제1반응챔버에서 버퍼챔버로 반출하기 전에 버퍼챔버의 내부온도를 제1공정 완료시의 온도로 조절하는 단계와, 제1공정이 완료된 기판을 버퍼챔버로 반출하고, 반출된 기판을 제2반응챔버로 반입하여 제2공정을 수행하는 단계와, 제2공정이 완료된 기판을 제2반응챔버에서 버퍼챔버로 반출하기 전에 버퍼챔버의 내부온도를 제2공정 완료시의 온도로 조절하는 단계 및 제2공정이 완료된 기판을 제2반응챔버에서 버퍼챔버로 반출하는 단계를 포함한다.</p> |
