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发明名称 ULTRA-PRECISION LINEAR STAGE USING UNIFIED MOTION AMPLIFICATION AND GUIDE MECHANISM
摘要
申请公布号 KR20110114180(A) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 KR20100033675 申请日期 2010.04.13
申请人 UNIV KOREA RES & BUS FOUND 发明人 JEONG JAE HWA;KIM JUNG JAE;AHN DA HOON;CHOI YOUNG MAN
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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