Purification method of fluorine compound

摘要

불순물로서 산소화합물을 함유한 불소화합물에서 적어도 산소를 제거함으로써, 고순도의 불소화합물을 얻는 것이 가능한 불소화합물의 정제방법을 제공한다. 본 발명에 따른 불소화합물의 정제방법은, 산소화합물을 불순물로서 함유한 불소화합물에 해당 불소화합물 중의 산소원자에 대해 0.1배 당량 이상 100배 당량 이하의 불화카보닐을 접촉시키는 것으로, 적어도 산소의 제거를 실시하는 것을 특징으로 한다.