| 摘要 |
<p>본 발명은 포토리소그래피공정을 사용하지 않고 패터닝공정을 수행할 수 있는 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판은 기판 상에 형성된 박막트랜지스터의 게이트전극, 상기 게이트전극과 접속된 게이트라인을 포함하는 제1 도전패턴군과; 상기 박막트랜지스터의 채널을 형성하는 반도체패턴과; 상기 박막트랜지스터의 소스 및 드레인전극, 상기 게이트라인과 교차하여 화소영역을 마련하는 데이터라인을 포함하는 제2 도전패턴군과; 상기 박막트랜지스터와 접속된 화소전극을 포함하는 제3 도전패턴군과; 이웃하는 상기 제1 내지 제3 도전패턴군과 반도체패턴들 중 적어도 어느 하나들 사이에 형성된 적어도 하나의 더미패턴을 구비하는 것을 특징으로 한다.</p> |
