Thin film gas sensor with high activity by using core-shell structure metal/oxide composite nanoparticles as a sensing material and manufacturing method thereby
摘要
<p>본 발명은 박막형 고활성 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 감도, 선택성 및 장시간 안전성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 제조공정의 단순화, 박막화 및 소형화가 가능한 박막형 고활성 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.</p>
