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发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 KR20110113612(A) 申请公布日期 2011.10.17
申请号 KR20117016060 申请日期 2010.01.29
申请人 TOYO TANSO CO., LTD. 发明人 YOSHIMOTO YOSHIAKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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