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发明名称 Aligner
摘要 <p>한편, 초고압 수은램프는 방출하는 파장이 넓은 대역에 걸쳐서 방출되는데 비하여, 본 발명의 UV LED의 파장은 좁은 대역에 걸쳐 방출되므로 공정 재현성이 종래방식에 비해 뛰어나다는 장점이 있다.</p>
申请公布号 KR101072921(B1) 申请公布日期 2011.10.17
申请号 KR20090122844 申请日期 2009.12.11
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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