A transfer equipment for vacuum equipment and a vacuum equipment including the thereof
摘要
<p>본 발명은 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 간단한 구성으로 이루어져 있어 소음, 마찰에 의한 파티클 발생, 마모 문제 등을 해결할 수 있을 뿐만 아니라 진공 장치 내부, 특히 진공 챔버 사이를 이동함에 있어 별도의 장치의 도움 없이도 원활하게 이동할 수 있도록 구성된 진공 공정용 반송 장치 및 이를 구비한 진공 장치에 관한 것이다.</p>
