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发明名称 TRANSFERRING SYSTEM FOR AGING CHAMBER AND METHOD FOR TRANSFERRING TRANSPORTER IN AGING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20110113429(A) 申请公布日期 2011.10.17
申请号 KR20100032815 申请日期 2010.04.09
申请人 OSUNG LST. CO., LTD. 发明人 JIN, MYUNG BUM;CHO, HYUN IL;AHN, DO YOUNG;LEE, SU HWAN;LEE, JONG CHU
分类号 H01L21/677;B65G25/08;G02F1/133 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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