| 摘要 |
<p>이를 위해 본 발명은, 포토레지스트가 도포된 기판을 반송하는 반송 컨베이어; 코팅 장치로부터 기판을 제공받아 상기 반송 컨베이어로 반출하는 제1로봇암; 상기 반송 컨베이어의 기판 반출측에 배치되는 솔벤트 제거부; 솔벤트 제거가 완료된 기판을 제공받아 그의 온도를 저감하는 온도 저감부; 온도가 저감된 기판을 임시 저장하는 버퍼부; 상기 반송 컨베이어와 솔벤트 제거부와 온도 저감부 및 버퍼부의 기판 반입측 사이에 배치되며, 기판을 각각 반입 및/혹은, 반출하는 제2로봇암; 기판을 노광 작업에 적합한 온도로 유지시키는 온도 컨트롤 유닛; 기판을 노광하는 노광 장치; 그리고, 상기 버퍼부의 기판 반출측과 상기 온도 컨트롤 유닛과 상기 노광 장치 사이에 배치되며, 기판을 각각 반입 및/혹은 반출하는 제3로봇암:이 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치용 제조 장비를 제공한다.</p> |
