| 摘要 |
<p>본 발명의 액정표시소자 및 그 제조방법은 게이트전극과 게이트라인 및 화소전극을 동시에 형성함으로써 마스크수를 감소시켜 제조공정을 단순화하는 동시에 게이트메탈을 스토리지라인으로 이용하여 스토리지 커패시터를 형성함으로써 4마스크 구조에서의 스토리지라인의 저항에 따른 화질저하를 방지하기 위한 것으로, 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 위에 소오스영역, 드레인영역, 채널영역 및 스토리지영역으로 구분되는 액티브패턴을 형성하는 단계; 상기 액티브패턴이 형성된 기판 전면에 제 1 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 절연막이 형성된 기판 위에 게이트전극과 게이트라인 및 화소전극을 형성하는 동시에 상기 스토리지영역과 일부 중첩하는 스토리지라인을 형성하는 단계; 상기 게이트전극, 게이트라인, 화소전극 및 스토리지라인이 형성된 기판 전면에 제 2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연막과 제 1 절연막을 선택적으로 제거하여 상기 액티브패턴의 소오스/드레인영역을 노출시키는 제 1 콘택홀과 제 2 콘택홀을 형성하는 동시에 상기 화소전극 상부의 제 2 절연막을 제거하여 화소전극영역을 오픈시키는 단계; 및 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 소오스영역과 전기적으로 접속하는 소오스전극을 형성하며, 상기 제 2 콘택홀을 통해 상기 드레인영역과 전기적으로 접속하는 한편 상기 스토리지라인과 중첩하도록 상기 스토리지라인 상부를 가로질러 상기 화소전극에 전기적으로 접속하는 드레인전극을 형성하는 단계를 포함한다.</p> |
