发明名称 LASER MASK AND SEQUENTIAL LATERAL SOLIDIFICATION CRYSTALLIZING METHOD USING THE SAME
摘要 레이저 마스크는 광 투과부 및 광 투과부를 사이에 두고 상호 이격되는 광 차단부를 포함하는 마스크 기판 및 광 차단부에 대응하여 마스크 기판에 위치하며, 요철 형상을 갖는 요철부를 포함한다.
申请公布号 KR101073551(B1) 申请公布日期 2011.10.17
申请号 KR20090110481 申请日期 2009.11.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/22 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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