| 发明名称 |
Handler for semiconductor device electrical test |
| 摘要 |
<p>본 발명을 통한 핸들러는 열전모듈 시스템에 의해 단시간 안에 반도체 소자를 직접 가열하고 냉각하기 때문에 핸들러의 공간적 여유와 함께 검사효율을 향상시킬 수 있는 특징이 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101074288(B1) |
申请公布日期 |
2011.10.17 |
| 申请号 |
KR20090033913 |
申请日期 |
2009.04.18 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G01R31/26;G05D23/02;H01L21/66;H01L21/67 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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