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发明名称 VERFAHREN ZUR AUFDECKUNG AUFTRETENDER KRISTALLVERSETZUNGEN IN EINEM KRISTALLINEN ELEMENT AUF GERMANIUMBASIS
摘要
申请公布号 AT528791(T) 申请公布日期 2011.10.15
申请号 AT20100354001T 申请日期 2010.01.05
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 SANCHEZ, LOIC;DEGUET, CHRYSTEL
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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