| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR NASSBEHANDLUNG VON UNTERSCHIEDLICHEN SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT525743(T) |
申请公布日期 |
2011.10.15 |
| 申请号 |
AT20090777346T |
申请日期 |
2009.07.21 |
| 申请人 |
RENA GMBH |
发明人 |
REUSTLE, PETER;GUTEKUNST, MATHIAS |
| 分类号 |
H01L21/00;C25D7/12;C25D17/02;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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