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发明名称 VAKUUM-SPUTTER-KATHODE
摘要
申请公布号 AT528785(T) 申请公布日期 2011.10.15
申请号 AT20030755581T 申请日期 2003.07.08
申请人 H.E.F. 发明人 AULAGNER, MICHEL;LABALME, LIONEL
分类号 H01J37/34;C23C14/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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