| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR NASSCHEMISCHEN BEHANDLUNG VON PRODUKTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT525124(T) |
申请公布日期 |
2011.10.15 |
| 申请号 |
AT20080759144T |
申请日期 |
2008.06.03 |
| 申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
DUENNEBEIL, SEBASTIAN;KLINGL, HEINZ |
| 分类号 |
B01F11/00;B05C1/02;B05C3/04;H01L21/00 |
主分类号 |
B01F11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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