| 摘要 |
<p>실질적으로 동등거리로 이격 배치된 적어도 한 쌍의 전극들(2)과, 공정 가스(process gas)의 도입에 따라 플라즈마 존(8)을 형성하도록 채택되고, 필요시에 기체, 액체 또는 고체 전구체(precursor)(들)을 통과하게 하는 상기 전극들 사이의 이격 배치를 포함하는 플라즈마 글로우 방전(plasma glow discharge) 또는 유전체 배리어(dielectric barrier) 방전 발생 조립체(1)는 상기 적어도 하나의 전극(2)은 내부(5) 및 외부(6) 벽을 구비하는 하우징(20)을 포함하며, 상기 내부 벽(5, 6)은 비-다공성 유전체 재료로 형성되고, 상기 하우징(20)은 적어도 실질적으로 비-금속의 전기 전도성 재료로 유지되는 것을 특징으로 한다.</p> |
