| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé pour déterminer la viscosité de films minces présentant un comportement visqueux à une température de mesure, notamment pour des résines polymères au-delà de leur température de transition vitreuse On forme une couche mince (12) de matériau sur un substrat (10), on imprime, par moulage ou gravure, un motif de géométrie connue dans la couche mince, la couche mince étant à l'état solide à la fin de l'étape d'impression. On mesure la topographie initiale du motif imprimé sur toute la longueur du motif selon une direction déterminée, on recuit le film à la température de mesure Tm pendant une durée de fluage déterminée tflu, on mesure la topographie résultante du motif flué Un traitement mathématique des mesures de topographie est effectué pour en déduire une valeur de viscosité à la température de mesure. Le motif imprimé au départ est apériodique.</p> |
